Wölfel, Christian - Control-oriented modeling and feedback con
Schrijver: | Wölfel, Christian |
---|---|
Titel: | Control-oriented modeling and feedback control of reactive sputtering - presented by the running example of depositing aluminum oxide by means of an rf magnetron ccp set-up |
ISBN: | 9783752671056 |
Taal: | Engels |
Uitgever: | BoD - Books on Demand |
Bijzonderheden: | 2021 288pp Gebonden |
Prijs: | € 64,80 |
Verzendkosten: | Gratis (binnen Nederland) |
Meer info: |
Flaptekst This thesis investigates the nonlinear reactive sputter process in a novel way: both from the control-theoretical side and from the plasma-physical side. The plasma behavior is explicitly considered for the process modeling and for the design of the control system to establish steady-state plasma conditions. By use of one of the presented control systems an unstable operation point of the process can be stabilized, which enables high deposition speed and a stoichiometric thin film subject to steady-state plasma conditions. In this framework, the plasma state is either defined by the self-bias voltage or the electron density. The application of the Multipole Resonance Probe allows to control the electron density as a quantity that directly characterizes the plasma state. Experimental results validate the applicability of the developed models and of the developed control systems for various process conditions. Algorithms summarize the steps for the model identification as well as for the control system design. In addition, the technical components of the experimental set-up and dominant process drifts that occur are described in detail. |
Verzendkosten 1,75 euro per zending binnen Nederland, vanaf 19,90 euro GEEN verzendkosten binnen Nederland.
Verzendkosten België 3,95 euro per zending.
Bij bestellingen van 10 euro of minder zijn de verzendkosten hoger; zie vermelding bij het boek.
Speciale verzoeken? Meestal geen punt, vermeld ze in het veld opmerking.
De actuele levertijd kunt u vinden op onze website.
De verkoper zal binnen 1 werkdag contact met u opnemen om de koop verder af te handelen.
Let op: dit nieuwe boek is anderstalig en heeft een levertijd van ongeveer 5 werkdagen binnen Nederland
Het huisnummer is ook opgegeven in het straat veld. Gelieve controleren of de velden straat en huisnummer correct zijn opgegeven.
Straat:
Nummer:
- Dit boek is nieuw
- U ontvangt bij ons altijd de laatste beschikbare druk
- Daarom kan de getoonde afbeelding afwijken van het werkelijke boek
- Van toepassing zijn de Algemene Verkoopvoorwaarden Boekstra
- Na uw bestelling ontvangen u en Boekstra een bevestiging per e-mail
- U handelt deze bestelling rechtstreeks af met Boekstra. In de e-mail staan de naam,adres, woonplaats en telefoonnummer van Boekstra vermeld
- Boekstra kan betaling vooraf vragen
- Bekijk hier de algemene voorwaarden van Boekstra.
Onthoud mijn gegevens
Registreer u vrijblijvend als koper!
Besteld, hoe nu verder?
De verkoper zal binnen 1 werkdag contact met u opnemen om de koop verder af te handelen. Afhankelijk van uw locatie heeft u in de meeste gevallen binnen 2 dagen uw bestelling in huis.